為便于供應(yīng)商及時了解政府采購信息，根據(jù)《財政部關(guān)于開展政府采購意向公開工作的通知》（財庫〔〕號）等有關(guān)規(guī)定，現(xiàn)將本單位年月至年月采購意向公開如下： 序號 采購項目名稱 采購需求概況 落實政府采購政策情況 預(yù)算金額(元) 預(yù)計采購時間 備注 華南師范大學電子束曝光系統(tǒng)采購項目 標的名稱：電子束曝光系統(tǒng) 標的數(shù)量： 主要功能或目標：高精度曝光：電子束曝光技術(shù)能夠?qū)崿F(xiàn)納米級別的精度，這使得它在制造納米線等微小結(jié)構(gòu)時非常有用 。微電子制造：該技術(shù)廣泛應(yīng)用于半導體、光伏、液晶顯示器等領(lǐng)域，特別是在微電子制造過程中，用于制作微細圖形。電子束掃描顯微鏡成像：除了曝光功能外，電子束曝光系統(tǒng)還具備電子束掃描顯微鏡成像功能，可用于觀察和分析樣品的微觀結(jié)構(gòu)。 微納米器件加工：電子束曝光技術(shù)可以制備硅基微型器件、納米微孔等微納米級器件。 需滿足的要求：二次電子像分辨率：≤. ( )，≤. ( )；加速電壓：. ～ 連續(xù)可調(diào)；束流范圍：熱場發(fā)射電子槍，數(shù)～()，分析效率極高；放大倍率：×~×,,(底片倍率)，×~×,,(顯示器倍率)；電子槍：浸沒式肖特基熱場發(fā)射電子槍，自動合軸調(diào)整功能；電子槍壽命：質(zhì)保期≥年，業(yè)內(nèi)平均壽命年以上。 按規(guī)定落實 ,,. 年月 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準。 華南師范大學 年月日