深圳大學激光直寫光刻機意向公開 采購單位: 深圳大學 項目名稱: 激光直寫光刻機 預算金額（元）: ,,. 采購品目: 激光儀器 采購需求概況: 激光直寫光刻機需具備 和 兩種激光光源，最小曝光結(jié)構(gòu)尺寸需達到，同時配備不少于三種曝光分辨率書寫模式如、以及用于快速完成不同細節(jié)要求的結(jié)構(gòu)；為滿足多層結(jié)構(gòu)加工需求，正面套刻需要保證對位精度，套刻精度不大于；此外灰度曝光能力不低于階，實現(xiàn)精細控制灰度曝光精度；可加工的尺寸應滿足八寸片且向下兼容；售后需提供年維保。 聯(lián)系人: 劉老師 聯(lián)系電話: 預計采購時間: - 備注: 無 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排,具體采購項目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準