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(優(yōu))投資11億元的半導(dǎo)體芯片制造項目
發(fā)布日期:2023-10-25
所屬地區(qū):江蘇省
所屬行業(yè):機械電子
進展階段:開工
投資金額:110000萬元
業(yè)主單位:
項目摘要:
主要設(shè)備:CSD涂源機、大束流注入機、離子注入機、顯影通道、槽式PI顯影柜、勻膠顯影機、涂膠顯影一體機、PI涂膠顯像機、勻膠機、PT涂源臺、貼膜機、甩干機、集電極腐蝕機、剝離去膠槽、雙面銀鋁腐蝕機、擋片清洗機、片架片盒清洗機、清洗柜、擦片機、泡酸柜、有機清洗機、超聲清洗機、清洗酸槽、光刻機、擴散爐、揭膜機、氧化爐、烘箱、發(fā)泡機、等刻臺、水淋塔、打標機、測試儀、全自動測試臺、顯微鏡、老化臺、檢測儀、臺階儀、祛濕氮氣柜、芯片取置機等。
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