二維半導(dǎo)體設(shè)備 項(xiàng)目所在采購(gòu)意向： 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所年至月政府采購(gòu)意向 采購(gòu)單位： 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所 采購(gòu)項(xiàng)目名稱： 二維半導(dǎo)體設(shè)備 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購(gòu)品目： -電子工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備 采購(gòu)需求概況 ： 采購(gòu)八英寸晶圓級(jí)二維材料金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備臺(tái)，具備絕緣襯底上（藍(lán)寶石、二氧化硅）生長(zhǎng) 英寸晶圓級(jí)二維半導(dǎo)體材料（主要是過渡金屬硫化物）及其異質(zhì)結(jié)的工藝能力，且尺寸可向下兼容；生長(zhǎng)出的材料均勻度 &;%, 缺陷密度 &;* -，單一晶疇取向，可重復(fù)性高；設(shè)備配備兩個(gè)腔室淋浴噴頭，無腔室前預(yù)反應(yīng)；具備多溫區(qū)加熱和旋轉(zhuǎn)，加熱范圍 - 攝氏度。目前先導(dǎo)中心沒有這類設(shè)備，無法滿足項(xiàng)目的研制需求，故需要專門配置購(gòu)置。 預(yù)計(jì)采購(gòu)時(shí)間： - 備注： 本次公開的采購(gòu)意向是本單位政府采購(gòu)工作的初步安排，具體采購(gòu)項(xiàng)目情況以相關(guān)采購(gòu)公告和采購(gòu)文件為準(zhǔn)。