-介質(zhì)電感耦合等離子體刻蝕設(shè)備 項目所在采購意向： 中國科學院微電子研究所年至月政府采購意向 采購單位： 中國科學院微電子研究所 采購項目名稱： -介質(zhì)電感耦合等離子體刻蝕設(shè)備 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： -電子工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備 采購需求概況 ： 采購標的名稱：-介質(zhì)電感耦合等離子體刻蝕設(shè)備。采購數(shù)量為臺。采購標的主要功能：滿足英寸晶圓薄膜刻蝕腔體，腔體數(shù)量為個，個腔體為刻蝕，個腔體為刻蝕，用于刻蝕 等介質(zhì)薄膜材料薄 ，膜片刻蝕內(nèi)均勻性≤%；薄膜片間均勻性≤%，采購標的需滿足的質(zhì)量，服務(wù)，安全，時限：提供設(shè)備驗收合格后年質(zhì)保及一體化環(huán)境工程整體解決方案；設(shè)備訂單生成后月內(nèi)交貨安裝完成。 預(yù)計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準。