等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備 項(xiàng)目所在采購(gòu)意向： 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所年月政府采購(gòu)意向 采購(gòu)單位： 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所 采購(gòu)項(xiàng)目名稱(chēng)： 等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備 預(yù)算金額： .萬(wàn)元(人民幣) 采購(gòu)品目： -電子工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備 采購(gòu)需求概況 ： 設(shè)備名稱(chēng)：等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備。采購(gòu)數(shù)量；臺(tái)。采購(gòu)標(biāo)的主要功能：用于生長(zhǎng)氧化硅、氮化硅、氧化硅、-薄膜，鍍膜均勻性≤±%，質(zhì)量、服務(wù)、安全、時(shí)限：提供英寸晶圓生長(zhǎng)腔體，具備個(gè)腔體生長(zhǎng)氧化硅、氮化硅、氧化硅、-薄膜，有英寸傳輸平臺(tái)與片庫(kù)，提供設(shè)備驗(yàn)收合格后年質(zhì)保及一體化環(huán)境工程整體解決方案；設(shè)備訂單生成后年內(nèi)交貨安裝完成。 預(yù)計(jì)采購(gòu)時(shí)間： - 備注： 本次公開(kāi)的采購(gòu)意向是本單位政府采購(gòu)工作的初步安排，具體采購(gòu)項(xiàng)目情況以相關(guān)采購(gòu)公告和采購(gòu)文件為準(zhǔn)。