無(wú)掩膜直寫(xiě)光刻系統(tǒng) 項(xiàng)目所在采購(gòu)意向： 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所年至月政府采購(gòu)意向 采購(gòu)單位： 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所 采購(gòu)項(xiàng)目名稱(chēng)： 無(wú)掩膜直寫(xiě)光刻系統(tǒng) 預(yù)算金額： .萬(wàn)元(人民幣) 采購(gòu)品目： -電子工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備 采購(gòu)需求概況 ： .單重直寫(xiě)分辨率；×有效直寫(xiě)面積；標(biāo)配波長(zhǎng)高性能直寫(xiě)光源；可增配選件-,升級(jí)波長(zhǎng)光源至波長(zhǎng)光源；最大適用于寸晶圓 預(yù)計(jì)采購(gòu)時(shí)間： - 備注： 本次公開(kāi)的采購(gòu)意向是本單位政府采購(gòu)工作的初步安排，具體采購(gòu)項(xiàng)目情況以相關(guān)采購(gòu)公告和采購(gòu)文件為準(zhǔn)。