英寸晶圓快速退火爐 項目所在采購意向： 中國科學(xué)院微電子研究所年至月政府采購意向 采購單位： 中國科學(xué)院微電子研究所 采購項目名稱： 英寸晶圓快速退火爐 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： -電子工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備 采購需求概況 ： 采購標(biāo)的名稱：英寸晶圓快速退火爐。采購標(biāo)的主要功能：小尺寸 器件研制中需要對制備的器件進(jìn)行高溫快速退火處理以提升器件的電學(xué)性能。主要目標(biāo)： 溫度范圍-℃ ；配置兩句路氣體 （氮氣 氧氣）；支持真空及常壓模式；晶圓尺寸 。。采購數(shù)量：臺 。采購標(biāo)的所需質(zhì)量：退火過程中溫度設(shè)置值與實際值誤差在%以內(nèi)。服務(wù)、安全、時限要求：提供設(shè)備驗收合格后年質(zhì)保。提供符合現(xiàn)場實際情況的設(shè)備安裝方案。設(shè)備訂單生成后年內(nèi)交貨安裝完成。 預(yù)計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。