英寸刻蝕機(jī) 項(xiàng)目所在采購意向： 中國科學(xué)院微電子研究所年至月政府采購意向 采購單位： 中國科學(xué)院微電子研究所 采購項(xiàng)目名稱： 英寸刻蝕機(jī) 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： -電子工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備 采購需求概況 ： 采購標(biāo)的名稱：英寸刻蝕機(jī)。采購標(biāo)的主要功能：通過化學(xué)反應(yīng)及物理轟擊對晶圓表面的金屬、半導(dǎo)體、絕緣體進(jìn)行高精度刻蝕。主要目標(biāo)：同時(shí)具備 、、等模式刻蝕 工藝控壓精度: . ; 工藝腔室控壓范圍 .-; 上電極可用功率范圍: ~; 射頻精確度 ± % 晶圓尺寸 。采購數(shù)量：臺 。采購標(biāo)的所需質(zhì)量：兼容多種刻蝕模式（、、）要求小孔多層膜刻蝕垂直度度到度之間 刻蝕表面及側(cè)壁粗糙度低、片內(nèi)刻蝕控制精度高、片間刻蝕誤差小于%。服務(wù)、安全、時(shí)限要求：提供設(shè)備驗(yàn)收合格后年質(zhì)保。提供符合現(xiàn)場實(shí)際情況的設(shè)備安裝方案。設(shè)備訂單生成后年內(nèi)交貨安裝完成。 預(yù)計(jì)采購時(shí)間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項(xiàng)目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。