/英寸精度光刻機 項目所在采購意向： 中國科學院微電子研究所年至月政府采購意向 采購單位： 中國科學院微電子研究所 采購項目名稱： /英寸精度光刻機 預算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： -電子工業(yè)生產(chǎn)設備 采購需求概況 ： 采購標的名稱：/英寸精度光刻機 。采購標的主要功能：光刻及以上光刻膠圖形 。主要目標：最大分辨率：；疊加精度：≤；晶圓尺寸：或 。采購數(shù)量：臺 。采購標的所需質(zhì)量：光刻出膠圖形及小孔 不同材料基底上可重復 。服務、安全、時限要求：提供設備驗收合格后年質(zhì)保。提供符合現(xiàn)場實際情況的設備安裝方案。設備訂單生成后年內(nèi)交貨安裝完成。 預計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。