吋射線光電子能譜儀 項目所在采購意向： 中國科學院微電子研究所年至月政府采購意向 采購單位： 中國科學院微電子研究所 采購項目名稱： 吋射線光電子能譜儀 預算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： -射線式分析儀器 采購需求概況 ： 鍵合工藝參數(shù)和鍵合后界面質量強烈依賴于激活后介質和金屬的組成成分和化學價態(tài)，射線光電子能譜儀是對材料表界面組成成分和化學價態(tài)進行分析的必要表征設備，因此急需利用此設備開展芯片至晶圓鍵合表界面的組成成分和化學價態(tài)分析，支撐激活和鍵合工藝的開發(fā)。 預計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。