吋晶圓/芯片自動光學檢測 項目所在采購意向： 中國科學院微電子研究所年至月政府采購意向 采購單位： 中國科學院微電子研究所 采購項目名稱： 吋晶圓/芯片自動光學檢測 預算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： -光學測試儀器 采購需求概況 ： ，開展芯片表面以及芯片貼裝的膜表面的顆粒沾污檢測，并嵌入至工藝流程的在線檢測步驟，實現(xiàn)存儲和邏輯芯片的界面無空洞鍵合和超高密互連。項目承擔單位目前無相關設備，急需該設備支撐項目研發(fā)。 預計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。