英寸晶圓橢偏儀 項目所在采購意向： 中國科學院微電子研究所年至月政府采購意向 采購單位： 中國科學院微電子研究所 采購項目名稱： 英寸晶圓橢偏儀 預算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： -光學測試儀器 采購需求概況 ： 采購標的名稱：英寸晶圓橢偏儀。采購標的主要功能：檢測薄膜性質。主要目標：波長范圍-；可采集個數據點；配置自動樣品臺和微光斑（）；最快掃描時間.單點 晶圓尺寸 。采購數量：臺 。采購標的所需質量：不同材料薄膜厚度檢測精度高、片間相同材料相同厚度薄膜檢測誤差%以內、片內檢測速度快。服務、安全、時限要求：提供設備驗收合格后年質保。提供符合現(xiàn)場實際情況的設備安裝方案。設備訂單生成后年內交貨安裝完成。 預計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。